熱絲式流量傳感器式通過氣體流過時(shí)熱絲式的溫度變化量轉(zhuǎn)換為流量進(jìn)行檢測(cè)，熱量控制系統(tǒng)增加電流保持熱絲恒定溫度，氣體流速與電流產(chǎn)生量成比例，流量和電流是非線性關(guān)系；線性化的實(shí)現(xiàn)通過微處理器及軟件進(jìn)行，以便產(chǎn)生可重復(fù)性流速的分布。熱絲式電橋的一段，流量變化時(shí)熱絲的溫度、阻抗和電流變化，橋路不平衡，輸出電壓變化換算出流量。

德爾格EVITA和SAVINA都是熱絲式流量傳感器。具體的工作原理為呼吸氣體沿著測(cè)量管，通過很細(xì)的鉑金絲。鉑金絲被加熱到180℃，并在此溫度下保持閉環(huán)控制系統(tǒng)。如果氣體流過去，鉑金絲熱量被帶走。每單位時(shí)間，散熱越高，氣體體積越大。